Deep X-ray lithography on “sol–gel” processed noble metal mesoarchitectured films - Sorbonne Université
Article Dans Une Revue Nanoscale Année : 2022

Deep X-ray lithography on “sol–gel” processed noble metal mesoarchitectured films

Maxime Gayrard
  • Fonction : Auteur
Matériaux Hybrides et Procédés
Benedetta Marmiroli
Francois Chancerel
  • Fonction : Auteur
Philippe Decorse
  • Fonction : Auteur
Heinz Amenitsch
  • Fonction : Auteur
Jennifer Peron
Andrea Cattoni
Marco Faustini
Sorbonne Université
Matériaux Hybrides et Procédés
Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris
Centre National de la Recherche Scientifique

Résumé

Noble metal coordination xerogel exhibit solubility switch when exposed to X-rays. The films can be used as recyclable negative tone resists for deep X-ray lithography that can be converted into metallic nanoarchitectured films.

Domaines

Chimie
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Soumis le : mardi 19 avril 2022-17:35:30

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-08:26:16

Archivage à long terme le : mercredi 20 juillet 2022-19:00:50

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Dates et versions

hal-03646702 , version 1 (19-04-2022)

Identifiants

Citer

Maxime Gayrard, Benedetta Marmiroli, Francois Chancerel, Philippe Decorse, Heinz Amenitsch, et al.. Deep X-ray lithography on “sol–gel” processed noble metal mesoarchitectured films. Nanoscale, 2022, 14 (5), pp.1706-1712. ⟨10.1039/D1NR07455E⟩. ⟨hal-03646702⟩

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