Mask pattern interference in AlGaInAs selective area metal-organic vapor-phase epitaxy: Experimental and modeling analysis - Sorbonne Université
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2008

Mask pattern interference in AlGaInAs selective area metal-organic vapor-phase epitaxy: Experimental and modeling analysis

Domaines

Mécanique des fluides [physics.class-ph] Thermique [physics.class-ph] Biomécanique [physics.med-ph]

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https://hal.sorbonne-universite.fr/hal-01444571

Soumis le : mardi 24 janvier 2017-11:04:06

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hal-01444571 , version 1 (24-01-2017)

Identifiants

Citer

N. Dupuis, J. Décobert, Pierre-Yves Lagrée, N. Lagay, F. Poingt, et al.. Mask pattern interference in AlGaInAs selective area metal-organic vapor-phase epitaxy: Experimental and modeling analysis. Journal of Applied Physics, 2008, 103 (11), ⟨10.1063/1.2937167⟩. ⟨hal-01444571⟩

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