Thickness Dependence of Crack Initiation and Propagation in Piezoelectric Microelectromechanical Stacks - Sorbonne Université
Article Dans Une Revue Acta Materialia Année : 2020

Thickness Dependence of Crack Initiation and Propagation in Piezoelectric Microelectromechanical Stacks

Dominique Leguillon
Kathleen Coleman
  • Fonction : Auteur
Raúl Bermejo
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 873187
Suzan Trolier-Mckinstry
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03821944 , version 1 (20-10-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03821944 , version 1

Citer

Dominique Leguillon, Kathleen Coleman, Raúl Bermejo, Suzan Trolier-Mckinstry. Thickness Dependence of Crack Initiation and Propagation in Piezoelectric Microelectromechanical Stacks. Acta Materialia, 2020. ⟨hal-03821944⟩
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