L'augmentation de la puissance des ordinateurs nécessite la réduction de la taille des composants des circuits intégrés : leurs dimensions atteignent déjà quelques dixièmes de micromètres carrés et doivent êtres encore réduites. La qualité des surfaces des monocristaux de silicium, supports des circuits, devra donc bientôt êtres maîtrisée à quelques nanomètres près, tout au long de la fabrication.