La gravure du silicium : Observer les atomes de surface dans un liquide. - Sorbonne Université Access content directly
Journal Articles Pour la Science Year : 1995

La gravure du silicium : Observer les atomes de surface dans un liquide.

Abstract

L'augmentation de la puissance des ordinateurs nécessite la réduction de la taille des composants des circuits intégrés : leurs dimensions atteignent déjà quelques dixièmes de micromètres carrés et doivent êtres encore réduites. La qualité des surfaces des monocristaux de silicium, supports des circuits, devra donc bientôt êtres maîtrisée à quelques nanomètres près, tout au long de la fabrication.
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Dates and versions

hal-04446022 , version 1 (08-02-2024)

Identifiers

  • HAL Id : hal-04446022 , version 1

Cite

Philippe Allongue. La gravure du silicium : Observer les atomes de surface dans un liquide.. Pour la Science, 1995, 210-avril, pp.26. ⟨hal-04446022⟩
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